其他名称：氟化氩激光气体（193nm）；氟化氪激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）

化学式：ArF、KrF、XeCl

产品类型：ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne，UN NO.： UN1956 

阀门型号：CGA679，DIN 8，DIN 14

包装：10L、16L、20L、49L、50L

准分子激光气为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。  

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